发明名称 DRY ETCHING PROCESS USING PLASMA
摘要
申请公布号 GB2026396(A) 申请公布日期 1980.02.06
申请号 GB19790026039 申请日期 1979.07.26
申请人 WE 发明人
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;(IPC1-7):C09K13/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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