发明名称 MEASURING METHOD OF HIGH TEMPERATURE PERFORMANCE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5517465(A) 申请公布日期 1980.02.06
申请号 JP19780090691 申请日期 1978.07.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YOSHIDA MINORU
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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