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发明名称
PROCESS FOR PRODUCTION OF CR FILM
摘要
申请公布号
JPS5516409(A)
申请公布日期
1980.02.05
申请号
JP19780088408
申请日期
1978.07.21
申请人
HITACHI LTD
发明人
SUENAGA MASAHIDE;SHIMIZU NOBORU
分类号
C23C14/50;H01L21/302
主分类号
C23C14/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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