| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5516410(A) |
申请公布日期 |
1980.02.05 |
| 申请号 |
JP19780088424 |
申请日期 |
1978.07.21 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KIMURA MASATOSHI;IMAIZUMI ICHIROU;YOSHIMURA MASAYOSHI;HONMA KIYOSHI |
| 分类号 |
H01L21/30;H01L21/027;H01L21/76;H01L21/8222;H01L27/08;H01L27/082 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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