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发明名称
摘要
申请公布号
JPS555269(B2)
申请公布日期
1980.02.05
申请号
JP19740028739
申请日期
1974.03.11
申请人
发明人
分类号
H01L29/74;H01L21/322;H01L29/744
主分类号
H01L29/74
代理机构
代理人
主权项
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