发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5516488(A) 申请公布日期 1980.02.05
申请号 JP19780090279 申请日期 1978.07.24
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 KINOSHITA HIROYUKI
分类号 H01L21/8238;H01L21/265;H01L21/331;H01L27/092;H01L29/02;H01L29/73 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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