发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5516488(A) |
申请公布日期 |
1980.02.05 |
申请号 |
JP19780090279 |
申请日期 |
1978.07.24 |
申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
KINOSHITA HIROYUKI |
分类号 |
H01L21/8238;H01L21/265;H01L21/331;H01L27/092;H01L29/02;H01L29/73 |
主分类号 |
H01L21/8238 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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