发明名称 ABSOLUTE PRESSURE TYPE PRESSURE SENSER
摘要
申请公布号 JPS5515293(A) 申请公布日期 1980.02.02
申请号 JP19780089107 申请日期 1978.07.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHIMADA SATOSHI;NISHIHARA MOTOHISA;KAWAKAMI HIROJI;SUZUKI KIYOMITSU;INUI TOMOTSUGU
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
地址