发明名称 DEVICE FOR CORRECTING ASTIGMATISM OF ELECTRON MICROSCOPE AND THE LIKE HAVING FIELD EMISSION TYPE ELECTRON GUN
摘要
申请公布号 JPS5514605(A) 申请公布日期 1980.02.01
申请号 JP19780086055 申请日期 1978.07.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 OOKURA AKIMITSU;KANDA KIMIO
分类号 H01J37/153 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
主权项
地址