| 发明名称 |
MANUFACTURING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5513930(A) |
申请公布日期 |
1980.01.31 |
| 申请号 |
JP19780086727 |
申请日期 |
1978.07.18 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
MORI KUNIHIRO |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/322;H01L21/331;H01L29/167 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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