DRY ETCHING PROCESS USING PLASMA.,申请号IE19790001449-传众专利搜索

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发明名称	DRY ETCHING PROCESS USING PLASMA.
摘要
申请公布号	IE791449(L)	申请公布日期	1980.01.31
申请号	IE19790001449	申请日期	1979.08.08
申请人	WESTERN ELECTRIC CO. INC.	发明人
分类号	H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F1/00	主分类号	H01L21/302
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