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发明名称 HALBLEITERVORRICHTUNGEN UND IHRE HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE2927824(A1) 申请公布日期 1980.01.31
申请号 DE19792927824 申请日期 1979.07.10
申请人 VLSI TECHNOLOGY RESEARCH ASSOCIATION 发明人 OGAWA,MITSURU;IWAMATSU,SEIICHI
分类号 H01L21/027;H01L21/263;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/321;H01L21/336;H01L21/762;H01L21/768;H01L21/86;H01L23/528;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/76;H01L29/78;H01L21/90 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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