| 发明名称 |
PRODUCTION OF SILICON HYDRIDE COMPOUND |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6230612(A) |
申请公布日期 |
1987.02.09 |
| 申请号 |
JP19850168792 |
申请日期 |
1985.07.31 |
| 申请人 |
MITSUI TOATSU CHEM INC |
发明人 |
INOUE KAORU;MIYAGAWA HIROJI;ITO MASAYOSHI;ABE TOSHIHIRO;KOIZUMI KIYOUGO |
| 分类号 |
C01B33/04;C07F7/08;H01L21/205 |
主分类号 |
C01B33/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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