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发明名称 METHOD OF PROCESSING VERY FINE ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPS5513962(A) 申请公布日期 1980.01.31
申请号 JP19780087366 申请日期 1978.07.17
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 TOUSAKA ASAMITSU
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/306 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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