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发明名称 SUPERLARGE INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS5513895(A) 申请公布日期 1980.01.31
申请号 JP19790067588 申请日期 1979.06.01
申请人 ITT 发明人 HANSU REINAA;BERUNAA AUTO
分类号 G01R31/28;G01R31/3185;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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