发明名称 DEVICE FOR GROWING CRYSTAL IN GASEOUS PHASE
摘要
申请公布号 JPS5513968(A) 申请公布日期 1980.01.31
申请号 JP19780087386 申请日期 1978.07.17
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 MUNETA TAKAAKI
分类号 C30B25/14;C30B25/02;H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
地址