发明名称 SPOSOB JONOWEGO TRAWIENIA PODLOZY PRZEWODZACYCH I NIEPRZEWODZACYCH
摘要
申请公布号 PL107163(B1) 申请公布日期 1980.01.31
申请号 PL19770201149 申请日期 1977.09.28
申请人 发明人
分类号 H01J37/30;H01L;H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
主权项
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