发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5512748(A) 申请公布日期 1980.01.29
申请号 JP19780085599 申请日期 1978.07.12
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 AKASAKA YOUICHI
分类号 H01L21/265;H01L21/268;H01L21/324 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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