发明名称
摘要
申请公布号 JPS5512676(U) 申请公布日期 1980.01.26
申请号 JP19780095847U 申请日期 1978.07.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/683;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
地址