发明名称
摘要
申请公布号 JPS5512606(U) 申请公布日期 1980.01.26
申请号 JP19780093507U 申请日期 1978.07.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/683;H01L21/02;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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