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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5511353(A) 申请公布日期 1980.01.26
申请号 JP19780084025 申请日期 1978.07.12
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 IWAMATSU SEIICHI;OGAWA MITSURU
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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