发明名称 MANUFACTURE OF DIELECTRIC INSULATED SEPARATION SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS5511347(A) 申请公布日期 1980.01.26
申请号 JP19780083937 申请日期 1978.07.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAGIYUU SETSUROU;SUZUKI TAKAYA
分类号 H01L21/762;H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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