WAFER INSPECTION SYSTEM,申请号GB19890012064-传众专利搜索

发明名称	WAFER INSPECTION SYSTEM
摘要
申请公布号	GB8912064(D0)	申请公布日期	1989.07.12
申请号	GB19890012064	申请日期	1989.05.25
申请人	GALAI LABORATORIES LTD	发明人
分类号	G01N21/84;G01R31/265;G01R31/28;G01R31/311;H01L21/66	主分类号	G01N21/84
代理机构		代理人
主权项
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