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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5511167(A) 申请公布日期 1980.01.25
申请号 JP19780084031 申请日期 1978.07.12
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 KUREISHI YOSHINORI;NITSUTA TAKEHISA
分类号 C23F4/00;C23F1/08;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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