发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF A COUPLAGE DE CHARGES
摘要 <P>L'invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif à couplage de charges. </P><P>Il consiste essentiellement à former un premier groupe d'électrodes espacées les unes des autres au-dessus d'une couche dopée à la surface d'un substrat Les ions sont ensuite implantés dans les régions de la couche dopée, entre les électrodes pour augmenter la concentration du dopage dans ces régions. Un second groupe d'électrodes est formé au-dessus de ces parties de plus grande concentration de la couche dopée. Les premières électrodes forment des grilles de transfert et les secondes forment des grilles d'emmagasinage. </P><P>L'invention s'applique notamment à la fabrication d'un dispositif à couplage de charges à canal encastré et à deux phases.</P>
申请公布号 FR2430093(A1) 申请公布日期 1980.01.25
申请号 FR19790016090 申请日期 1979.06.22
申请人 RAYTHEON CY 发明人
分类号 H01L29/762;H01L21/339;H01L29/10;H01L29/768;(IPC1-7):H01L21/82;G11C19/28 主分类号 H01L29/762
代理机构 代理人
主权项
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