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发明名称 VERFAHREN ZUR EPITAKTISCHEN ABSCHEIDUNG
摘要
申请公布号 DE2829830(A1) 申请公布日期 1980.01.24
申请号 DE19782829830 申请日期 1978.07.07
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH 发明人 DURO,DIPL.-PHYS. BRAUN,PETER;KOSAK,WOLODYMYR,ING.
分类号 C30B25/02;C30B25/14;C30B25/22;H01L21/205;(IPC1-7):B01J17/28;C23C11/00 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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