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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH01319956(A) 申请公布日期 1989.12.26
申请号 JP19880154410 申请日期 1988.06.21
申请人 NEC CORP 发明人 NODA YUJI
分类号 H01L21/60;H01L21/66 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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