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发明名称 APPARATUS FOR PULLING UP SINGLE CRYSTAL ON SEED FRON MELT
摘要
申请公布号 JPS5510401(A) 申请公布日期 1980.01.24
申请号 JP19780078760 申请日期 1978.06.30
申请人 GNII PI REDKOMETA;ZABODO CHISUTEIHI METAROFU IME;BUSESOYUTSUNII NI 发明人 ANATORI MIHIYAIROBUICHI SOKORO;OREGU BUIKUTOROBUICHI PEREBUIN;ANATORI IRARIONOBUICHI KIRICHI;GURIGORI GURIGORIEBUICHI MAKAR;REFU GEORUJIEBUICHI EIDERUMAN;OREGU SERUGEEBUICHI MIYURENDOR
分类号 C30B15/30;H01L21/02;H01L21/208 主分类号 C30B15/30
代理机构 代理人
主权项
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