发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPS559415(A) 申请公布日期 1980.01.23
申请号 JP19780081549 申请日期 1978.07.05
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 SHINOZAKI SATOSHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/302;H01L21/306 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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