发明名称 SEMICONDUCTOR UNIT AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPS559423(A) 申请公布日期 1980.01.23
申请号 JP19780081906 申请日期 1978.07.07
申请人 HITACHI LTD 发明人 TANIGAKI YUKIO
分类号 H01L23/52;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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