Process for the non-destructive reading of an output signal coming from a CCD register and device therefor.

摘要

Im Schieberegister ist im Bereich der Verarmungszone (8) unter der Elektrode (6) eines MIS-Kondensators ein entgegengetzt zum Halbleitersubstrat (1) dotiertes, nur mit dem Steuergate (9) eines Auslesetransistors (10) kontaktiertes, frei schwebend gehaltenes Diffusionsgebiet (7) (Floating Diffusion) angeordnet. Die Elektrode (6) wird auf konstanter Spannung gehalten und beim Einfließen der Signalladung wird das Diffusionsgebiet (7) aufgeladen und auf das Oberflächenpotential des Kondensators angehoben. Der Hub ist entsprechend der aufgenommenen Ladung geringer als im ungeladenen Zustand. Die Hubverringerung wird vom Auslesetransistor (10) als Auslesesignal verwendet. Beim Ansteuern des Nachbarkondensators fließt die Ladung in diesen ab und das schwebende Diffusionsgebiet (7) wird ohne Zerstörung der Signalladung und ohne Rücksetz-impuls rückgesetzt.