发明名称 METHOD FOR SELECTIVE ETCHING OF TITANIUM DIOXIDE
摘要
申请公布号 GB1559595(A) 申请公布日期 1980.01.23
申请号 GB19760050734 申请日期 1976.12.06
申请人 PHILIPS ELECTRONIC & ASSOCIATED INDUSTRIES LTD 发明人
分类号 H01L21/308;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/3213;(IPC1-7):C09K13/00 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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