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发明名称
摘要
申请公布号
JPS552896(B2)
申请公布日期
1980.01.22
申请号
JP19730058392
申请日期
1973.05.24
申请人
发明人
分类号
H01L29/78
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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