发明名称 ETCHING SOLUTION FOR ORGANIC RESIN
摘要
申请公布号 JPS557880(A) 申请公布日期 1980.01.21
申请号 JP19790051519 申请日期 1979.04.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAIKI ATSUSHI;OOKUBO TOSHIO;HARADA YUKIYOSHI
分类号 C09K13/06;C08J7/00;C08J7/02;H01L21/312 主分类号 C09K13/06
代理机构 代理人
主权项
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