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发明名称
摘要
申请公布号
JPS558682(U)
申请公布日期
1980.01.21
申请号
JP19780091992U
申请日期
1978.07.03
申请人
发明人
分类号
C23C16/50;C23C14/50;H01L21/31;(IPC1-7):C23C11/00
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
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