| 发明名称 |
VAPOR PHASE GROWTH APPARATUS FOR MULTICOMPONENT SEMICONDUCTOR CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS557562(A) |
申请公布日期 |
1980.01.19 |
| 申请号 |
JP19780080275 |
申请日期 |
1978.06.30 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
ITOU MICHIHARU;SHINOHARA KOUJI;YOSHIKAWA MITSUO |
| 分类号 |
C01G21/00;C01B19/04;C30B23/00;C30B29/46;H01L21/02;H01L21/205 |
主分类号 |
C01G21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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