| 发明名称 |
ETCHING METHOD FOR ALUMINUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS556407(A) |
申请公布日期 |
1980.01.17 |
| 申请号 |
JP19780076456 |
申请日期 |
1978.06.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MIZUTANI TATSUMI;IIDA SHINYA;KOMATSU HIDEO;UEKI KAZUYOSHI |
| 分类号 |
C23F4/00;C23F1/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05K3/06 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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