| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS554939(A) |
申请公布日期 |
1980.01.14 |
| 申请号 |
JP19780077015 |
申请日期 |
1978.06.27 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
NAKAYAMA RIYOUZOU;SHIBATA SUNAO |
| 分类号 |
H01L21/822;H01L21/265;H01L27/04;H01L29/08;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/822 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
