发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS554937(A) 申请公布日期 1980.01.14
申请号 JP19780076986 申请日期 1978.06.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YANO HIROSHI;OGAWA TETSUYA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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