发明名称 METHOD FOR PULLING UP SILICON SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH059097(A) 申请公布日期 1993.01.19
申请号 JP19910185175 申请日期 1991.06.28
申请人 SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD 发明人 KODAMA YOSHIHIRO;ISHIHIRA TETSUYA;SUGANO YUKITSUGU
分类号 C30B15/00;C30B29/06;H01L21/208 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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