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发明名称 PREPARATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS553666(A) 申请公布日期 1980.01.11
申请号 JP19780076183 申请日期 1978.06.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 IDOGAMI TAKASHI
分类号 H01L21/66;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/73 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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