| 发明名称 |
ELECTRON RAY EXPOSURE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS553620(A) |
申请公布日期 |
1980.01.11 |
| 申请号 |
JP19780074480 |
申请日期 |
1978.06.20 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRON OPTICS LAB |
发明人 |
YUASA TETSUO |
| 分类号 |
H01J37/09;H01J37/04;H01J37/30;H01J37/305;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
H01J37/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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