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发明名称
摘要
申请公布号 DE2653814(B2) 申请公布日期 1980.01.10
申请号 DE19762653814 申请日期 1976.11.26
申请人 SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN 发明人 MUENZ, WOLF-DIETER, DR., 8025 UNTERHACHING;BOCK, SIEGFRIED;POETZLBERGER, HANS WERNER, DIPL.-PHYS.
分类号 H01L21/70;(IPC1-7):H01L49/02 主分类号 H01L21/70
代理机构 代理人
主权项
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