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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS TEST METHOD
摘要
申请公布号 JPH06342043(A) 申请公布日期 1994.12.13
申请号 JP19930111928 申请日期 1993.05.13
申请人 NEC CORP 发明人 CHIBA KAZUKI
分类号 G01R31/28;G01R31/3185;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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