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经营范围
发明名称
FURNACE CORE PIPE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPS551130(A)
申请公布日期
1980.01.07
申请号
JP19780073878
申请日期
1978.06.19
申请人
CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI
发明人
TAKEUCHI YUKIO
分类号
H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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