发明名称 Photoresist structure, particularly suitable for photolithographically depositing parallel metal strips on to a base substrate, and the method for forming it
摘要
申请公布号 GB2023857(A) 申请公布日期 1980.01.03
申请号 GB19790009598 申请日期 1979.03.19
申请人 CISE CENTRO INFORMAZIONI STUDI ESPERIENZE SPA 发明人
分类号 G03F7/38;H01L21/027;H01L21/285;H01L21/336;H01L21/338;(IPC1-7):G03C5/00;H01L21/28 主分类号 G03F7/38
代理机构 代理人
主权项
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