| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG INTEGRIERTER HALBLEITERSCHALTUNGEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2923969(A1) |
申请公布日期 |
1980.01.03 |
| 申请号 |
DE19792923969 |
申请日期 |
1979.06.13 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA DENKI K.K. |
发明人 |
ENDO,NORIO |
| 分类号 |
H01L21/3213;H01L21/033;H01L21/306;H01L21/336;H01L21/762;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/72 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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