发明名称 PROCEDE DE FABRICATION DE TRANSISTORS A EFFET DE CHAMP
摘要 L'invention concerne un procédé de fabrication de transistors à effet de champ. Le procédé est caractérisé en ce qu'on forme une couche active de matière semi-conductrice sur une surface d'un premier substrat en matière semi-conductrice, en ce qu'on dépose un second substrat de matière isolante sur la surface de la structure comprenant le premier substrat et la couche active de manière que cette couche active soit située entre les deux substrats, en ce qu'on enlève le premier substrat et en ce qu'on forme des électrodes de source, de drain et de grille sur la surface de la couche active placée en regard du second substrat. Application au domaine des composants électroniques.
申请公布号 FR2427689(A1) 申请公布日期 1979.12.28
申请号 FR19790014018 申请日期 1979.05.31
申请人 ROYAUME UNI SECRETAIRE ETAT DEFE 发明人 BRIAN THOMAS HUGHES, REUBEN REDSTONE, JOHN CHARLES VOKES ET DAVID ROBERT WIGHT
分类号 H01L29/73;H01L21/306;H01L21/331;H01L21/338;H01L21/58;H01L23/482;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/80;H01L29/812;(IPC1-7):01L29/80;01L23/14 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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