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发明名称
摘要
申请公布号
JPS54183267(U)
申请公布日期
1979.12.26
申请号
JP19780082653U
申请日期
1978.06.15
申请人
发明人
分类号
C30B25/02;H01L21/22;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/22;B01J17/00
主分类号
C30B25/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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