发明名称 PREPARATION OF MULTILAYER WIRING TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54163690(A) 申请公布日期 1979.12.26
申请号 JP19780072996 申请日期 1978.06.15
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NAKAMURA MASARU
分类号 H01L21/3205;H01L21/306;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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