发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10144800(A) 申请公布日期 1998.05.29
申请号 JP19960298430 申请日期 1996.11.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FUJITA KOICHI
分类号 H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/088;H01L27/095;H01L29/06;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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